產(chǎn)品中心

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• 晶片倒角設(shè)備
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  • 全自動設(shè)備
• 快速高溫退火設(shè)備
  • 快速高低溫退火設(shè)備RTA（離子注入后活化激活）
• 背面處理設(shè)備
  • 全自動晶片減薄設(shè)備SGM-9100
• 鍵合設(shè)備
  • 高還原性低溫?zé)釅烘I合設(shè)備 FATB
  • 高還原性低溫?zé)釅簩?zhǔn)鍵合設(shè)備 MAFP
  • C2W低溫?zé)釅烘I合設(shè)備 SAFP
• 量測設(shè)備
  • 晶片邊緣輪廓儀
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  • 金剛石研磨液
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  • 拋光布及拋光墊
  • 研磨盤及拋光盤